產(chǎn)品名稱：三硅化五鈦（Ti5Si3）
規(guī)格：0.8-10um（D50）
形貌：不規(guī)則
顏色：黑灰色
特點(diǎn)：高熔點(diǎn)、低密度、良好的高溫穩(wěn)定性、抗氧化性
用途：光學(xué)涂層
名稱：三硅化五鈦
分子式：Ti5si3
Cas：12067-57-1
外觀：灰黑色
熔點(diǎn)：2130℃
沸點(diǎn)：2130℃
密度：4.39g/cm3
分子量：323.59
用途：硅化鈦被廣泛應(yīng)用于金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS),金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管（MOSFET）和動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器（DRAM）的門、源/漏極、互聯(lián)和歐姆接觸的制造當(dāng)中。
三硅化五鈦的性能與使用：
Ti5Si3具有熔點(diǎn)高(2130℃)、密度低(4.65g/cm3)及優(yōu)異的高溫性能如高的高溫硬度、良好的高溫穩(wěn)定性、抗氧化性，能有希望用于1300℃以上的高溫結(jié)構(gòu)材料。Ti5Si3的熔點(diǎn)與高溫結(jié)構(gòu)陶瓷相接近甚至更高，但其密度卻遠(yuǎn)低于一些高溫結(jié)構(gòu)陶瓷與高溫合金，與鈦合金相當(dāng)，具備了在高溫下使用的潛力。另外，由于其電阻和熱阻均較低，Ti5Si3也有希望用于電氣連接結(jié)構(gòu)和擴(kuò)散阻擋層。
